PANews 7월 27일 소식, The Information의 보도에 따르면, 상하이 소재 국유 자본 배경의 한 회사가 국산 침지식 DUV 노광 장비를 소량 생산하기 시작했으며, 올해 약 5대를 출하할 계획이고 2027년에는 약 20대로 늘릴 예정이다. 첫 물량은 SMIC, 화훙반도체, 창신메모리테크놀로지에 납품될 예정이며, 웨이퍼 팹에서는 정밀도, 안정성 및 기존 생산 라인과의 연계성을 검증해야 하고, 이 과정은 수개월 이상 소요될 수 있다. 보도에 따르면, 이 장비의 대부분 부품은 국산화되었지만, 일부 핵심 부품은 여전히 일본에 의존하고 있으며, 전반적인 성능과 제조 품질은 여전히 ASML에 뒤처져 있다. ASML은 2025년 한 해 동안 약 131대의 침지식 DUV 노광 장비를 인도했으며, 국산 장비가 대규모로 대체되기까지는 아직 격차가 있다.